蒸發(fā)離子泵：泵內(nèi)被電離的氣體吸附在以間斷或連續(xù)方式升華（或蒸發(fā)）而覆在泵內(nèi)壁的吸氣材料上，以實現(xiàn)抽氣的一種真空泵。真空設備對油污染的要求。若設備嚴格要求無油時，應該選各種無油泵，如：水環(huán)泵、分子篩吸附泵、濺射離子泵、低溫泵等。有的真空泵不能在大氣壓下工作，需要預真空；有的真空泵出口壓強低于大氣壓，需要前級泵，故都需要把泵組合起來使用。
為了使用方便和真空工藝過程的需要，將各種真空泵按其性能要求組合起來，以機組型式應用。真空系統(tǒng)指低于該地區(qū)大氣壓的稀簿氣體狀態(tài)。在工業(yè)生產(chǎn)的許多工藝過程中，如真空過濾、真空引水、真空送料、真空蒸發(fā)、真空濃縮、真空回潮和真空脫氣等，水環(huán)式真空泵得到廣泛的應用。眾所周知，由于水環(huán)真空泵和水環(huán)壓縮機具有結(jié)構(gòu)簡單、使用維修方便的特點，因而在各行各業(yè)得到了廣泛的應用。
真空泵相關下游應用行業(yè)保持快速增長，同時在真空泵應用領域不斷拓展等因素的共同拉動下，我國真空泵行業(yè)實現(xiàn)了持續(xù)穩(wěn)定地快速的發(fā)展。真空泵應安裝在地面結(jié)實堅固的場所，周圍應留有充分的余地，便于檢查、維護、保養(yǎng)。如真空泵口安裝電磁閥時，閥與真空泵應同時動作。真空泵排出來的油蒸氣對環(huán)境的影響。如果環(huán)境不允許有污染，可以選無油真空泵，或者把油蒸氣排到室外。真空泵底座下應保持地基水平，
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